Farklı Sıcaklıklarda Yapılan Isıl İşlemlerin Titanyum-Nikel Filmlerin Kristal Yapısına Etkisinin Araştırılması

Abstract

Titanyum-nikel filmler sahip oldukları şekil hafıza özelliği ve süper elastiklik özellikleri sayesinde son yıllarda giderek artan bir ilgiye ve artan bir potansiyel kullanım alanına sahiptir. Magnetron sıçratma yöntemiyle büyütülen titanyum-nikel filmler amorf iç yapıya sahiptir. Şekil hafıza ve süper elastik özelliklerinin kazandırılması için bu filmlere ısıl işlem yapılmakta ve iç yapı kristal faza dönüştürülmektedir. Bu çalışmada magnetron sıçratma yöntemi ile büyütülen titanyum-nikel filmler altı farklı sıcaklık değerinde atmosfer kontrollü tüp fırın içerisinde ısıl işleme tabi tutulmuştur. Filmlerin faz değişimleri XRD analizleri ile, iç yapıları SEM görüntüleri ile, faz dönüşüm sıcaklıkları DSC analizleri ile belirlemiştir. Çalışma sonucu farklı ısıl işlem sıcaklıklarının iç yapıyı büyük oranda değiştirdiği belirlenmiştir. Elde edilen sonuçlara göre 550°C de yapılan ısıl işlemin oda sıcaklığındaki uygulamalar için daha uygun olduğu tespit edilmiştir.